6 | В14 | Вакуумная дуга : источники плазмы, осаждение покрытий, поверхностное модифицирование / И. И. Аксёнов [и др.] ; под ред. И. И. Аксёнова ; НАН Украины, Нац. науч. центр ”Харьк. физ.-техн. ин-т”, Ин-т физики твердого тела, материаловедения и технологий. — Киев : Наук. думка, 2012. — 726, [1] с. : ил., табл. | 2 | Природничі науки |   У корзину |